过程控制和验证
XSENSOR的工业传感器为需要对生产过程中的应用压力、对准和平整度有信心的制造工程师提供最精确的压力曲线。
不准确的质量保证测试成本很高，可能会导致业务和生产力的损失，最坏的情况下，会造成重大的责任问题。
对于像晶圆抛光这样的产品应用，验证均匀的压力是生产产量的关键--如果你生产的货物依赖于压区或夹区的滚筒，确保其重量均匀分布是维持生产标准的关键。
概述
半导体加工
消除半导体加工缺陷。
确保您的硅片研磨设备应用均匀的压力，并防止最小的缺陷损害您的硅片。
抛光头的压力曲线可以使用我们的高精度、高分辨率的LX传感器进行评估。这在硅片抛光应用中尤其重要，因为设备被设计为一次去除微米。
01
INLINe 质量保证
最大限度地提高生产过程中的在线质量。
在您的自动测试程序中使用压力传感器进行在线质量保证测试。
验证材料是否符合性能和制造缺陷的验收参数。
测试您产品的表面压力，如座椅结构、泡沫或垫圈材料。
02
表面符合性测量
保持压区和夹区辊筒的对齐。
验证压区和夹区轧辊之间的压力分布。在整个接触区获得连续的厚度和可压缩性。
有了压区辊子传感器，你可以在不破坏辊子平衡的情况下测量压力分布。
采用专有的菱形设计，最大限度地提高传感元件，消除测量时的电子噪音，我们的传感器提供最准确的压区足迹的可视化。
03
规格和性能
XSENSOR的过程控制和验证传感器提供准确的可重复的测量，以描述您的产品或过程界面。了解应用压力的均匀性和大小。
快速的响应时间，最小的漂移和滞后确保在线质量保证测试的一致测量。稳定的校准确保您的传感器随时可以使用，无需重新校准。
，通过快速设置和易于解释的图形和可视化的测量显示，节省宝贵的生产和设置时间。
精确、可重复的压力传感器测量精度为±5%--无需重新校准即可保持精确的测量，可持续数千次。
感应器尺寸为1.2 mm x 1.2 mm的高空间分辨率提供了最小的表面特征的压力细节。
快速的传感器响应和0.01 psi的传感器分辨率确保即使是最小的界面压力变化也能被捕获。
超薄的传感区域，我们的LX传感器低于1毫米，可准确测量轮廓表面。
可定制覆盖材料，以满足工业应用的需要。
用于分析或直接获取数据选项的综合软件工具箱。
过程控制和验证
传感器
分辨率 毫米（英寸
使用案例
压力范围
N/cm2 (psi)
感应区
cm x cm (In x In)
LX100:100.100.10
2.54 (0.1)
晶片抛光
0.07 - 2.7
(0.1 - 3.87)
25.4 x 25.4
(10 x 10)
LX100:100.100.10
2.54 (0.1)
垫片密封
0.14 - 10.34
(0.2 - 15)
25.4 x 25.4
(10 x 10)
LX205:64.128.10
2.54 (0.1)
中等喷射压力
0.07 - 10.3
(0.1 - 15)
16 x 32
(6.3 x 12.6)
LX100:50.50.05
5.08 (0.2)
低压喷雾
0.07 - 2.7
(0.1 - 3.9)
25.4 x 25.4
(10 x 10)
IX510:128.128.05
5.08 (0.2)
高喷射压力
3.4 - 207
(5 - 300)
25.6 x 25.6
(10.1 x 10.1)
IX510.31.96.40-04
0.64 x 6.4
(0.025 x 0.25)
压辊
0.7 - 88.3
(1 - 128)
2 x 61
(0.8 x 24)
PX100:10.160.10-05
2.54 x 5.08
(0.1 x 0.2)
挡风玻璃刮水器
0.07 - 2.7
(0.1 - 3.9)
2.54 x 81.3
(1 x 32)
IX510:18.45.08
3.18 (0.125)
刹车片
6.9 - 353
(10 - 512)
57.2 x 14.3
(22.5 x 5.6)
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